دستگاهی برای فراوری قطعات الکترونیکی فشرده تر - مجله کامپیوتر

به گزارش مجله کامپیوتر، گروه صنعتی ای وی جی (EVG)، پیشرو در تأمین تجهیزات اتصال ویفر و لیتوگرافی برای بازار های MEMS، فناوری نانو و نیمه هادی ها، به تازگی از دستگاه EVG 40 NT 2، خود رونمایی نموده است.

به گزارش گروه دانشگاه مجله کامپیوتر، به نقل از ستاد فناوری نانو، گروه صنعتی ای وی جی (EVG)، پیشرو در تأمین تجهیزات اتصال ویفر و لیتوگرافی برای بازار های MEMS، فناوری نانو و نیمه هادی ها، به تازگی از دستگاه EVG 40 NT 2، خود رونمایی نموده است. سیستم EVG 40 NT 2 برای اولین بار در نمایشگاه SEMICON Europa که از 16 تا 19 نوامبر در Messe München در مونیخ آلمان برگزار گردید، به نمایش عایدی.

EVG 40 NT 2 که برای فراوری در حجم بالا با حلقه های بازخورد برای تصحیح و بهینه سازی فرآیند در زمان واقعی طراحی شده است، به فراورینمایندگان دستگاه، ریخته گری ها و دیگر فراورینمایندگان یاری می نماید تا در فراوری محصولات تازه خود ادغام قطعات سه بعدی/ناهمگن را تسریع نمایند و بعلاوه بازدهی را بهبود بخشند.

دکتر توماس گلینزنر، از مدیران گروه EV، گفت: کنترل فرآیند برای برنامه های سه بعدی و یکپارچه سازی ناهمگن به طور فزاینده ای حیاتی است. EVG 40 NT 2 یک پیشرفت بزرگ در عملکرد مقدار شناسی برای پاسخگویی به تقاضا های تازه برای صنعت ساخت قطعات الکترونیکی فشرده است. این فناوری نه تنها دقت همپوشانی بیشتری را فراهم می نماید، بلکه افزایش قابل توجهی در توان عملیاتی را برای فعال کردن چگالی مقدار گیری بالاتر در هر ویفر را نیز فراهم می نماید. این دستگاه بازخورد دقیق تری در خصوص عملکرد پیوند هیبریدی ارائه می دهد. این راهکار تازه، فرآیند هایی فعلی EVG را برای ادغام سه بعدی/ناهمگن تکمیل می نماید و سیستم EVG 40 NT موجود ما برای همین منظور طراحی شده است. EVG 40 NT 2 در حال حاضر نقش کلیدی را در چندین پروژه توسعه مشترک ایفا می نماید.

از آنجایی که مقیاس بندی سیلیکونی دوبعدی سنتی به محدودیت های هزینه ای خود می رسد، صنعت نیمه هادی به منظور افزایش عملکرد یک قطعه الکترونیکی، به ادغام ناهمگن یعنی فراوری، مونتاژ و بسته بندی چندین جزء مختلف یا قالب ها با مقدار و مواد مختلف روی یک دستگاه، روی آورده است. از آنجایی که با افزایش تعداد قطعات و سازه ها، فضای کاری محدودتر می گردد، فرآیند های همترازی باند ویفر و قالب نیز باید بر اساس آن مقیاس بندی شوند. این کار منجر به بازده فراوری بالاتر می گردد.

سیستم EVG 40 NT 2 مقدار گیری های بسیار دقیق پارامتر های فرآیند لیتوگرافی را برای برنامه های یکپارچه سازی سه بعدی/ناهمگن پیشرو فعلی و آینده فراهم می نماید.

برای تأیید هم ترازی، EVG 40 NT 2 یک مدل پوشش فراوری می نماید که می تواند در یک حلقه بازخورد برای بهبود هم ترازی کلی استفاده گردد. این امر خطا های سیستماتیک را کاهش می دهد و منجر به افزایش بازده فراوری می گردد. این سیستم با مفاهیم بهینه سازی مورد احتیاج کارخانه های نسل بعدی که از فراوری صنعت 4.0 پشتیبانی می نمایند، سازگار است.

گروه EVG یکی از تامین نماینده های پیشرو در تجهیزات و راهکار های فرآیندی برای ساخت قطعات نیمه هادی، سیستم های میکروالکترومکانیکی (MEMS)، نیمه هادی های ترکیبی و ادوات حوزه فناوری نانو است. محصولات کلیدی این شرکت شامل پردازش ویفر نازک، لیتوگرافی/لیتوگرافی نانوامپرنت (NIL) و تجهیزات مقدار شناسی و بعلاوه پوشش های مقاوم به نور، پاک نماینده ها و سیستم های بازرسی است. گروه EV که در سال 1980 تأسیس شد، شبکه ای پیچیده از مشتریان و شرکا را در سراسر دنیا پشتیبانی می نماید.